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解析匀胶机原理材质的选择

发布时间:2022-02-24   点击次数:117次

解析匀胶机原理材质的选择

 

 

从其原理来说,匀胶机有以下两个特点。

1)旋转速度

转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。转速控制方面有国际认定标准,如美国NIST标准等。

2)真空吸附系统

真空泵一般采用无油泵,即通常说的干泵,因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片"的情况,还会让滴的胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。有的匀胶机通过联动机制,当真空吸附力不够时不会开始旋转。这样可有效避免滴的胶液不慎进入真空管道系统。

匀胶机匀胶机

该匀胶机的技术参数:

Speed Ⅰ调速范围:5002500 r/min

Timer Ⅰ匀胶时间:018 s

Speed Ⅱ转速范围:8008000 r/min

Timer Ⅱ匀胶时间:060 s

转速稳定度:±1%

电机功率:40 W

被镀物质尺寸:Φ12~Φ100mm [3]

 

 

材质的选择

对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美国等型号都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点


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