产品中心您的位置:网站首页 > 产品中心 > 测量/计量仪器 > 电阻率测试仪 > XNC-KDB-3双组合四探针电阻率测试仪

双组合四探针电阻率测试仪

型号:XNC-KDB-3

访问量:89

厂商性质:生产厂家

更新时间:2022-01-29

简要描述:
XNC-KDB-3型双组合四探针电阻率测试仪

(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延、离子注入、化学气相、或其他淀积工艺在硅衬底上形成的薄膜方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成
品牌自营品牌产地类别国产
应用领域环保,生物产业,石油,地矿,电子可测电阻率:0.0001~19999Ω?cm

XNC-KDB-3型双组合四探针电阻率测试仪

(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延、离子注入、化学气相、或其他淀积工艺在硅衬底上形成的薄膜方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。

 

双组合测试方法使用四探针的方式不同于其他ASTM测量半导体电阻率或薄层电阻的方法。在本测试方法中,在测试样品的每个测量位置上,以两种不同的方式(配置)将探针连接到提供电流和测量电压的电路中。四探针的这种使用法通常被称为“双配置"或“配置切换"测量。单组合四探针相比,用较小间距的探针头就可以进行高精度的测量,从而可获得更高的晶片薄层电阻变化的空间分辨率。

                                                                              

本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些薄层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的产品:“小游移四探针头",探针游移率在0.10.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机可加配KDY测量系统,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算出硅片电阻率、径向电阻率的最大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均匀度,给测量带来很大方便。

 

XNC-KDB-3型双组合四探针电阻率测试仪主机技术能数

 

1)测量范围:

 

        可测电阻率:0.000119999Ω•cm

 

        可测方块电阻:0.001199999Ω/

 

2)恒流源:

 

        输出电流:DC  0.001100mA   五档连续可调

 

        量程:0.0010.01mA    0.010.10mA       0.101.0mA       1.010mA     10100mA

 

        恒流精度:各档均低于±0.05%

 

3)直流数字电压表:

 

         测量范围:0199.99mV

 

         灵敏度:10μV

 

         基本误差:±(0.004%读数+0.01%满度)

 

         输入阻抗:≥1000MΩ

 

4)测量精度:电器精度:11000欧姆≤0.3%

 

         整机测量精度:11000欧姆•厘米≤3%

 

5)供电电源:

 

         AC  220V±10%    50/60  Hz    功率:12W

 

6)使用环境:温度:23±2   相对湿度:≤65%

 

         无较强的电场干扰,电源隔离滤波,无强光直接照射

 

7)重量、体积:

 

         主机重量:6.5kg

 

         体积:420(含前把手)×360×150(含底脚)(单位:mm  长度×宽度×高度)

 

                 该仪器可选配KDY四探针测试系统连接计算机软件进行测量,测试结果更加精确、简便,测量数据自动保存,可进行导出excel等操作,便于保存数据。


留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

联系我们

contact us

咨询电话

13366543358

扫一扫,关注我们

返回顶部